访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展******

　　(第五届进博会)访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社上海11月6日电 题：访谈｜ASML全球高级副总裁沈波：开放合作半导体行业才能发展

　　中新社记者 李佳佳

　　元宇宙体验、光刻机“开箱”视频和H5虚拟课堂，备受外界关注的全球半导体行业供应商ASML在第五届中国国际进口博览会上，首次通过“元宇宙”平台，带来沉浸式的光刻体验，彰显前沿科技。

　　自1988年交付首台步进式光刻机以来，ASML进入中国市场已有三十余年，见证、亲历和支持了中国半导体产业的发展。

　　“今年是ASML第四次参展进博会，我们希望借助进博会的平台不断地展现开放共赢、合作发展的理念。”ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波表示：“ASML一直秉持开放与专注，以‘开放式创新’和对光刻技术的专注，持续支持半导体行业的发展。在进博会，我们可以与全行业甚至跨行业的企业和合作伙伴加深交流，共商合作前景。”

　　首次在进博会亮相的“ASML元宇宙”之旅给此间观展者带去了身临其境的独特体验。在ASML元宇宙空间里，观展者可以“亲身”进入无尘室，近距离接触神秘的光刻机，更可以结合影视级效果的3D裸眼视频，了解光刻机的内部基本原理——光源经过照明模组投向掩模版，再穿过掩模版上的电路图案，通过投影物镜将影像聚焦到晶圆上。“元宇宙”中还有生动的全方位光刻解决方案动画和丰富多样的科普视频，令观展者沉浸式了解更多有关ASML的故事。

　　“每年我们都会思考以什么样的形式参加进博会”，沈波说，去年，进博会的集成电路专区设立，凸显了外界对产业的关注和重视。希望未来在设立专区的基础上，能够增加宣传和引导，比如举办一些专题或者小论坛，以加深外界对行业的了解。

　　其实，除了光刻机，ASML在芯片制造的成像环节也会提供全方位的光刻解决方案，从光刻机设备本身到计算光刻软件，再到芯片生产过程的量测、缺陷的检查等，ASML均有涉猎。“我们更想跟大家讲讲怎么帮助客户在芯片生产的过程中，在我们的环节上做出足够大的工艺窗口，让芯片生产的质量、精度能够控制得更好，或者让客户的技术进步更顺畅地向前。这是我们今年进博会主要的出发点。”

　　当前，中国已是全世界最大的成熟制程市场，这俨然成为行业的共识。“中国在整个半导体产业链中扮演非常重要的角色，这是所谓‘不确定性中的确定性’。在这种确定的情况下，中国该怎么发展成熟制程，怎么把成熟制程做好，怎么在全球的半导体产业链里把自己重要的角色扮演好，从这个角度看，中国市场的潜力是很大的，中国有全世界最大的终端市场，最活跃的应用市场，终端市场、应用市场反过来可以推动上游设计、制造方面的发展创新。”

　　说起行业未来的发展，沈波坦言，半导体行业自身有一定的周期，有起有伏不是新鲜事。但是从半导体行业过去多年的发展和对未来的预期来看，整体向上的趋势是在的，“只要大趋势在，就会要求有更多的计算、更多的存储、更多新的应用支持，就会带动半导体行业的需求量向上”。(完)

全国花样滑冰锦标赛新赛季开赛******

　　新华社北京1月11日电（记者李嘉）2022—2023全国花样滑冰锦标赛11日在河北承德冰上运动中心开幕。本届赛事为期三天，12日将决出男子单人滑冠军，女子单人滑、双人滑和冰舞项目的冠军将于13日产生。

　　作为本赛季首个回归线下的全国性花滑赛事，比赛吸引了众多高手参加。男子单人滑方面，18岁的小将陈昱东将向个人首个全锦赛冠军发起冲击。陈昱东本赛季状态出色，在去年10月初举行的国际滑联青年组大奖赛波兰站中斩获男单银牌，此后又在亚洲公开赛中包揽了青年组和成年组的冠军，他也是12月全国青年锦标赛的冠军。韩文宝和姜智敖在全国青年锦标赛上分获亚军和季军，他们的表现也值得期待。

　　女子单人滑赛场，16岁的卫冕冠军安香怡在本赛季完成了国际赛场首秀，在国际滑联青年组大奖赛波兰站中获得了第五名，两套节目《小丑登场》和《万物理论》颇具看点。上届全锦赛亚军陈虹伊将再次登场，此外，金书贤、王芓乔、程佳盈等一批表演风格突出的小选手同样是奖牌的有力争夺者。

　　双人滑项目，张思阳/杨泳超将参加他们搭档后的第一届全锦赛。张思阳曾是一名女单运动员，滑行技术突出，杨泳超曾和之前的搭档获得上届全锦赛亚军，技术扎实，大赛经验也很丰富。另一对组合杨易溪/邓舜阳本赛季以赛代练，收获了包括国际滑联青年组大奖赛波兰站第五名、全国青年锦标赛冠军、俱乐部联赛总决赛青年组冠军在内的诸多好成绩。此外，王慧蒂/贾梓麒、张嘉轩/黄一航、孙优美/李泽恩、王韵杰/刘赫霖等也将在本次比赛中亮相。

　　冰上舞蹈方面，上届全锦赛青年组冠军陈溪梓/邢珈宁将力争站上最高领奖台。同样在上届全锦赛出战青年组比赛的曹路唱/陈建旭等年轻选手将在本赛季完成升组比赛。

　　《光明日报》（ 2023年01月12日 09版）